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气体质量流量控制器（MFC）

HORIBA-STEC提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有广泛的流量范围，客户可选择最适合的类型。客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样也可提供多种不同的通信方式，包括模拟式、数位式、DeviceNet，以及PROFIBUS（取决于产品型号）。产品的流量范围可从微量流量直至超大流量。

概要
 

10SCCM到1000SLM广泛的流量控制范围、拥有下列可选择的通信方式digital/analog、DeviceNet™，CC-Link®、PROFIBUS™，EtherCAT®，面向多样化产业和应用的数位质量流量控制器。高精度：±1.0% S.P.、使用范围内，一秒内的高速反应、兼具多重范围和多重气体机能。
 

特长
可选择的通信方式digital/analog、DeviceNet™，PROFIBUS®，CC-Link®，EtherCAT®

概要

高精确度的高热感测器、搭载螺线管控制阀的全能模范，高精度模拟式质量流量控制器。10 SCCM到200SLM的广域流量控制范围，可应用于广泛的产业。
 

特长

广泛的流量控制范围：0.2SCCM～200SLM（N2）可对应广泛用途，并在一般产业中，有许多实绩。
产品阵容中也包含低成本的型号（SEC-E40MK3/E50MK3）

概要

搭载温控阀的模拟式质量流量控制器，安定性佳，许多市场皆有应用。

特长

 ±0.5%F.S. :SEC-405（限定气体种类）
流量控制对应范围：0.1CCM~200SLM（N2）面间距离106mm的小型型号： SEC-300型式

概要

根据使用者需求，可变更气体种类、流量范围。搭载多重范围/多重机能的数位质量流量控制器，是最佳销售的模范。
±1.0%S.P.的高精度、1秒内的高速对应。实现5SCCM到500SLM的广域流量范围。可选择的通信方式：数位式/模拟式通信、DeviceNet™，EtherCAT®。这是不仅可是用于先进制程，也适用于各种制造制程的质量流量控制器。
 

特长

多重范围/多重气体对应使用者端可自行变更气体种类及全流量。可减少备品的准备，降低预算。
广域流量范围微少流量（全流量：5SCCM）至大流量（全流量：500SLM）
高精度±1.0% S.P.（设定点）保证
高速反应全范围1秒以内（T98） 
轻巧尺寸面间距离106mm（50SLM以下、1/4VCR Type）、可对应1.125inch气体配电盘。
超洁净设计
底部构造采用全不锈钢，并且内部接触面皆经过研磨抛光处理

概要
搭载热感式流量感测器的质流量模块。并搭载多重显示器及PI机能、简单・清亮的气流线设计。±1% S.P.的高精度、1.0秒的高速反应。
 

特长

PI机能搭载尽管压力急遽变动，因搭载最新的安定流量控制演算方法、可省去各种气流线的压力控制的设计。实现精简
化的气体流线。
多重范围/多重气体机能使用者端的可变更气体种类・全范围的流量
全范围一秒内高速反应
不需要控制器、压力计、过滤器，气流线紧密精简化。
不影响1次压、2次压的变动
Inlet Pressure Sensor搭载
多重显示器机能搭载

超洁净设计

底部构造采用全不锈钢，并且内部接触面皆经过研磨抛光处理内藏可控制的网络作业机能、Digital信号

概要

针对最先进的制程，采用压差式的高性能的质量流量控制器。具备PI机能、多重气体・多重范围・多重压力、自我检测机能、实现±1% S.P.的高精度及0.8秒的应答速度。
 

特长

PI机能（Pressure Insensitive）尽管压力急遽变动，因搭载最新的安定流量控制演算方法、可省去各种气流线的压力控制的设计。实现精简化的气体
流线。
多重气体・多重范围・多重压力机能使用者端可变更气体种类、全流量、供给压力范围。减少备品准备、降低花费。
自行检测机能G-Life（Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation）短时间：3秒内（typical）可完成自我检测、提高产能
高精度±1% S.P.
高速反应应答速度：0.8秒以内
广域范围控制10 SCCM~50 SLM的广域控制范围
丰富的通信方式Digital/analog、DeviceNet™、EtherCAT®