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精密涂布系统（PCS）
分别控制粒子直径和粒子飞行速度以达到最适当的涂膜技术、利用低压可以实现更均匀的微粒化的技术，通过与连续稳定供应材料的技术相结合，从而实现纳米级的超薄膜乃至数µm级的膜厚。
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型號 |
PCS5565-MT |
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最大適用基板 |
550mm×650mm |
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最大稼動範圍 |
700mm×800mm |
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最大scan速度 |
40m/min |
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噴頭數量 |
1個 |
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外形寸法 |
1800mm×1850mm×2208mm |
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本體重量 |
1200kg |
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仕様分類 |
成膜裝置/塗佈裝置 |
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型號 |
PCS2020 |
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最大適用基板 |
200mm×200mm |
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最大稼動範圍 |
440mm×540mm |
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最大scan速度 |
40m/min |
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噴頭數量 |
1個 |
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外形寸法 |
1500mm×1600mm×2095mm |
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本體重量 |
500kg |
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仕様分類 |
成膜裝置/塗佈裝置 |
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型號 |
rCoater(實驗用) |
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最大適用基板 |
50mm×50mm |
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最大稼動範圍 |
200mm×200mm |
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最大scan速度 |
20m/min |
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噴頭數量 |
1個 |
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外形寸法 |
520mm×450mm×570mm ※概寸 |
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本体重量 |
30kg |
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仕様分類 |
成膜裝置/塗佈裝置 |
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option |
回轉機構 |
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型號 |
PCS3747 |
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最大適用基板 |
370mm×470mm |
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最大稼動範圍 |
590mm×790mm |
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最大scan速度 |
40m/min |
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噴頭數量 |
1個 |
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外形寸法 |
1550mm×1800mm×2155mm |
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本体重量 |
800kg |
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仕様分類 |
成膜裝置/塗佈裝置 |
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