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精密涂布系统(PCS)

 

 

分别控制粒子直径和粒子飞行速度以达到最适当的涂膜技术、利用低压可以实现更均匀的微粒化的技术,通过与连续稳定供应材料的技术相结合,从而实现纳米级的超薄膜乃至数µm级的膜厚。

型號

PCS5565-MT

最大適用基板

550mm×650mm

最大稼動範圍

700mm×800mm

最大scan速度

40m/min

噴頭數量

1個

外形寸法

1800mm×1850mm×2208mm

本體重量

1200kg

仕様分類

成膜裝置/塗佈裝置

型號

PCS2020

最大適用基板

200mm×200mm

最大稼動範圍

440mm×540mm

最大scan速度

40m/min

噴頭數量

1個

外形寸法

1500mm×1600mm×2095mm

本體重量

500kg

仕様分類

成膜裝置/塗佈裝置

型號

rCoater(實驗用)

最大適用基板

50mm×50mm

最大稼動範圍

200mm×200mm

最大scan速度

20m/min

噴頭數量

1個

外形寸法

520mm×450mm×570mm ※概寸

本体重量

30kg

仕様分類

成膜裝置/塗佈裝置

option

回轉機構

型號

PCS3747

最大適用基板

370mm×470mm

最大稼動範圍

590mm×790mm

最大scan速度

40m/min

噴頭數量

1個

外形寸法

1550mm×1800mm×2155mm

本体重量

800kg

仕様分類

成膜裝置/塗佈裝置 

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