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化学药液浓度计

HORIBA-STEC提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有广泛的流量范围，客户可选择最适合的类型。客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样也可提供多种不同的通信方式，包括模拟式、数位式、DeviceNet，以及PROFIBUS（取决于产品型号）。产品的流量范围可从微量流量直至超大流量。

概要
湿制程用化学药液浓度计
HNO3/HF MonitorKOH/IPA MonitorNaOH/IPA MonitorHF Monitor
 

目的

通过连续测量药液可优化制程
增加药液的使用寿命以减少消耗量
减少批次缺陷以提升产品产能
 

特长

实际浓度追踪
全自动连续测量
小型轻量化设计
低温/高温药液对应皆可
除去生成物的影响
其他化学药液及应用请与我们联系。

概要

适用于洗净与蚀刻工程中进行各式化学药液的高精度浓度侦测。
HORIBA CS-100F1系列是针对在半导体制程中的清洗及蚀刻制程中所使用的药液进行高精度浓度监测的设备。
透过光纤传播光信号，将核心Cell直接组装到清洗装置配管上，实行即时在线测量。
同时，一台浓度计最多可以测量四种药液或范围，在单槽/枚叶式清洗设备中也能进行单线多种药液的多重监测。
此外，Cell Unit Type也适用于高精度需求的浓度回馈控制。
 

特点

￭一台浓度计最多可测量四种药液或范围
一台浓度计中最多可储存四种校正系数（药液或范围），可以监测单槽或枚叶式等批次清洗设备中多重药液（或者不同的药液配比）的浓度。
￭测量周期约3秒，300mm制程的浓度管理
以大约三秒的极短周期实现高速测量。适用于多槽/单槽/枚叶式清洗设备的精细浓度管理。
￭即时浓度测量。适用于更高精度需求的Cell Unit Type
透过可直接将Inline Cell组装到清洗装置主配管上的浓度计，实行即时在线浓度测量。此外，重视稳定性的Cell Unit Type浓度计也可以
对应浓度回馈控制。并且能够保持在药液浓度值的允许范围内，可以避免不必要的药液更换工作。
￭轻便小巧的设计节省清洗设备的空间
与原系列产品相比体积小了2/3的设计，对于节省洗净设备的空间富有贡献。除了能轻易的组装至洗净设备，因为轻量化也能设置于洗净设
备之上方空间。
￭藉由将电气部及测量部分离以提升安全性

使用光纤传输光源信号，可实现将浓度计与核心Cell完全分离的设置型态。由于能将浓度计设置在药液环境之外，不须担心造成腐蚀等现象。
￭减少清洗制程中的批次不良以提高产能
透过输出信号，进行各成分药液的补酸控制，实行高再现性的表现。减少清洗制程中的批次不良，有利于产能的提升。

概要

CS-700系列浓度计以更高精度的技术监测半导体制程中使用的各种浓度的混合液，改良HORIBA独有的光谱分析测量法，CS-700系列实现了与从前比起五倍的高精度测量，对于半导体制程的品质管理强化及更精准地控制化学药液有良好的贡献。
※根据需测量的药液及浓度范围调整
 

特点

适合多成分的化学药液
最多可测量八种成分，实现即时高精度监测
无须试剂并降低成本
即插即用，易于安装

概要

适合单槽/枚叶式洗净
HF-960M能够高精度测量低浓度的氢氟酸，塩酸和氨水
随着半导体洗净工程设备的进化及微小化，对于控制低浓度的RCA洗净药液更加要求。HF-960M采用耐腐蚀性优良的sensor，能够更精准快速地量测低浓度的氢氟酸，塩酸和氨水，适用于单槽及枚叶式设备洗净。
 

特点

测量氢氟酸浓度、塩酸浓度、氨水浓度、导电率及温度五种数值
支持模拟信号输出可任意设定浓度测量范围

概要

HE-480R为拥有高精度的温度补偿性能的工业用水阻值计。
适用于连续监测半导体，电子，食品和药品等各个领域的制造过程中使用的超纯水。在0到100°C的范围内实现高精度的温度补偿。
 

特点

高精度的温度补偿
温度补偿元件中采用白金测温电阻体（Pt1000Ω）
可以任意设定标准温度由于可以任意设定温度补偿的标准温度，可检测温纯水等配合不同制程条件设定。
完善的公司内部校正设备透过具有可追踪性的感应器进行校正后才出货，并建置可现场校正的支持体制及核发校正证书以进行认证等等的售后服务。

概要

HE-960H-TM-S可以高精度测量半导体和液晶制程中所使用之光阻显影剂的主要成分TMAH浓度，Horiba有此药液专用的耐化学品感应器系列产品。

特点

高精度：再现性±0.003wt%以内
测量范围广
浓度：0-3%、导电率：0-1000 mS/cm
自动切换显示范围
可测量三种类型：TMAH浓度、导电率以及温度
使用耐化学品的碳感应器
DC24V电源
RoHS认证